Оптимизация процесса реанодизации при производстве танталовых оксидно-полупроводниковых конденсаторов

Аннотация

Иванченко С.Н., Пойлов В.З.

Дата поступления статьи: 02.04.2018

При производстве танталовых оксидно-полупроводниковых конденсаторов особое значение имеет комплекс технологических операций по формированию катодной обкладки на основе диоксида марганца, который сопряжен с многократным нагревом оксидированных анодов с предшествующей пропиткой в растворах азотнокислого марганца, что оказывает негативное влияние на качество диэлектрика Ta2O5. Для минимизации дефектообразования в диэлектрике реализуют периодическое электрохимическое анодирование танталового анода в растворе уксусной кислоты при анодном подключении секций конденсаторов к источнику постоянного тока. Авторами было предложено модифицировать процесс реанодизации секций танталовых оксидно-полупроводниковых конденсаторов путем изменения состава электролита. В статье приведены результаты исследования электрохимического анодирования танталового анода в водных растворах уксусной, азотной кислоты и нитрата марганца, проанализированы морфология полученных покрытий, их фазовый состав, а также электрические параметры секций конденсаторов, изготовленных предложенным способом.

Ключевые слова: Танталовый оксидно-полупроводниковый конденсатор, реанодизация, нитрат марганца, емкость конденсатора, ток утечки, тангенс угла диэлектрических потерь, электролит

01.04.07 - Физика конденсированного состояния

05.17.01 - Технология неорганических веществ

`